洁净厂房设计规范 GB50073-2013：附录C

C.0.1 洁净室的净化空气监测频数宜按表C.0.1的规定进行监测。

表C.0.1 洁净室的净化空气监测频数

C.0.2 当出现下列任何一种情况时，应更换高效空气过滤器：
1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。
2 高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5倍～2.0倍。
3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
C.0.3 当洁净厂房内采用高效真空吸尘器进行清扫时，应定期检查吸尘器排气口的含尘浓度。