洁净厂房设计规范 GB50073-2013：8.2管道材料和阀门

8.2.1 工业管道的材料和阀门的选用，由于所输送的物料品种多样，它们的物化性质不同，具体工程中各种物料的使用工况（压力、温度、浓度等）也是不同的，所以本条规定工业管道的材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况，在满足不同的生产工艺要求的前提下，经技术经济比较选择合适的材质。如集成电路生产中所需的高纯气体、特种气体等都有特殊的和严格的要求，如对气体中的杂质和露点要求极为严格，需要达到10-9、10-12级，尘埃粒径要求控制小于0.1μm，甚至0.05μm的粒子，因此需要相应高质量的输送管道和阀门，但不同材质或同一材质管道内壁处理方法不同，价格相差甚远，如某工程拟引进316L材质的不锈钢管，内壁电抛光处理要比未经处理的价格高出1.6倍～2.1倍。因此管道材料、内壁处理和阀门形式的选用要根据具体的生产工艺区别对待，这样才能做到既满足生产工艺要求，又经济合理。
8.2.2 根据对国内洁净厂房使用情况的调查，大多数工厂高纯气体管道是采用不锈钢管，因为它具有化学稳定性好，渗透性小，吸附性差等特性，输送的气体质量能满足生产工艺的要求。
阀门的严密性好坏是影响气体纯度的重要因素之一。国内多数洁净厂房和某些引进或合资项目的高纯气体管道阀门基本上都是采用不锈钢材质，阀门类型有隔膜阀、波纹管阀和球阀。波纹管阀比球阀严密性好，隔膜阀除严密性好外，还具有阀体死体积小、易吹除的特点，因此适用于气体纯度要求极高，生产工艺严格或危险性大的气体。
如上海某集成电路厂前工序(0.35μm)技术，芯片直径8"，要求高纯气体中杂质含量均要小于10×10-9，氮、氢、氧、氩气体管道采用进口SS316L内壁电抛光处理（通称EP管）。316L是低碳不锈钢管，其使用原因是防止钢材中碳组分的析出及吸附或释放杂质气体，影响气体纯度并导致产品成品率下降。阀门是隔膜阀Cajon VCR密封连接形式。又如深圳某公司集成电路后工序，气体纯度要求99.999％、露点－70℃，氮气、氮氢混合气、氧气管道均采用SS304不锈钢管，国内合资企业进行内壁光亮抛光处理，阀门为进口球阀，双卡套连接。
为此，本条规定按生产工艺和对气体纯度的要求选用合适的不锈钢管材和阀门。
8.2.3 本条规定干燥压缩空气露点低于－70℃时，应采用不锈钢管内壁经抛光处理，并非规定要进行电抛光。而是可以采用机械抛光。化学抛光俗称光亮抛光，因为表面光亮水分不易被吸附、滞留在管道表面，而且极易被吹除干燥，对输送低露点的气体是十分必要的。SS304钢相当于国内钢牌号为0Cr18Ni9。如上海某工程集成电路厂干燥压缩空气露点要求－73℃，采用管材为SS304钢，内壁光亮抛光（通称BA管），阀门采用波纹管阀双卡套连接；深圳某公司集成电路后工序干燥压缩空气露点要求－70℃，采用国内合资企业进行电抛光处理，阀门为进口球阀，双卡套连接。
对于干燥压缩空气露点低于－40℃，可以采用0Cr18Ni9不锈钢管(304)或热镀锌无缝钢管，这在国内已有多年运行经验，证明是可以满足此类压缩空气的输送要求的。