洁净厂房设计规范 GB50073-2013：6.3气流流型和送风量

表6.3.3 气流流型和送风量

注：1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室；
2 应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。
6.3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，并应符合下列规定：
1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
3 有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

条文说明

6.3　气流流型和送风量
6.3.1 洁净室的气流流型应考虑避免或减少涡流。这样可以减少二次气流，有利于迅速有效地排除粒子。
对于空气洁净度要求不同的洁净室（区），所采用的气流流型亦应不同。近年在电子工厂洁净厂房或医药工业洁净厂房内，为减少建设工程造价、降低能量消耗，常常采用同时具有单向流和非单向流的混合流洁净室，即使在微电子生产洁净厂房中要求1级～3级的空气洁净度等级的生产环境也采用混合流洁净室，即在洁净厂房的洁净生产区采用5级，仅在局部或微环境内采用1级～3级。根据上述情况，本条进行了新的规定，并修改为推荐性条文。
6.3.2 洁净室（区）的送风量是确保其正常运行的基本条件，本条规定的洁净室（区）送风量应取三项中最大值是多年来国内外的经验总结，如果不是“最大值”，则将使建造后的洁净室达不到所要求的洁净度等级或环境条件达不到要求或作业人员健康得不到保障，为此，本条规定为强制性条文。
6.3.3 洁净室送风量计算所用的数据是参照国际标准《洁净室及相关受控环境——第四部分，设计、施工和启动》ISO 14644-4-2001中表B.2而编制的。其中，换气次数系根据我国实际情况确定的。
(1) 表6.3.3空气洁净度等级系指静态而言。其编制理由如下：
1) 工程施工前的空气洁净度测试，一般都是在空态或静态下进行的；
2) 国内外标准中大多已明确规定按静态进行空气洁净度测试。如果设计时业主提出须按动态进行验收时，则另行处理。
(2) 参照已经发布的国际标准《洁净室及相关受控环境——第四部分，设计、施工和启动》ISO 14644-4中对微电子洁净室、医药工业洁净室的送风量的规定，以及在本规范修订过程中对国内已投入运行的各类洁净厂房实际运行状况的调查研究，经分析表明，《洁净室及相关受控环境——第四部分，设计、施工和启动》ISO 14644-4-2001中表B.2对不同等级的洁净室送风量、平均风速的相关数据基本合理，编写组结合国内的实际状况作了必要的调整，现将表B.2摘录于表8。

表8 微电子洁净室实例

注：1 制定最佳设计条件之前，首先应明确使用环境的ISO级别有关的占用状态；
2 气流流型符号的意义：U为单向流流型；N为非单向流流型，M为混合流流型（单向流和非单向流的组合流型）；
3 平均风速通常适用于单向流流型。单向流平均流速大小与被控制空间的形状和热气流温度有关。单向流流速不是指过滤器面风速；
4 单位面积送风量适用于非单向流流型和混合流流型。单位面积送风量的推荐值适用于层高为3.0m的洁净室；
5 在洁净室设计中须考虑密封措施；
6 对于污染源以及污染区可用隔板或空气幕予以有效分隔。

由于本条规定的洁净送风量主要是依据目前国内外的实际状况的经验总结，各类工业产品的生产工艺的差异和不断进步，使其洁净室的送风量有所差异，所以本次修订将本条改为推荐性条文。