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杂质Fe在精制三氯氢硅中含量高,将降低多晶硅的少子寿命。()

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第1题
实现精制三氯氢硅中DCS含量在5%,是还原精馏塔塔顶产品直接采出的。()
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第2题
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第3题
运用化学或物理的方法以工业硅为原料,经氯化氢合成三氯氢硅液体,在经精馏提纯、氢还原获得多晶硅,这种方法称改良西门子法。()
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第4题
二期三氯氢硅汽化器没有设置物料导淋阀。()
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第5题
还原MSA气控台上有三氯氢硅管线、氢气管线、氮气管线。()
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第6题
晶体硅中的基硼含量检测是利用基硼含量与______的关系实现的()

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C.空穴迁移率

D.电子电荷

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第7题
反应混合气配比的确定对于三氯氢硅氢还原反应至关重要,而混合气流量对于整个反应来说无关紧要。()
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第8题
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第9题
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第10题
晶态硅分为多晶硅和无定型硅两种。()
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